優河馬

中國工程物理研究院微系統與太赫茲研究中心（Microsystem & Terahertz Research Center of CAEP）（以下簡稱“微太中心”），成立于2011年，是面向國內外開放的應用基礎、關鍵技術和應用技術科研平臺。微太中心是中國兵工學會太赫茲應用技術專委會的主任委員單位，并公開出版發行科技核心期刊《太赫茲科學與電子信息學報》。 中心擁有由國家級專家、省部級專家等組成的專家隊伍，下設8個科研室和2個管理部門，現有固定人員近200人，其中近半具有博士學位，海外歸國人員近20名，另有流動人員（訪問學者、博士后、研究生等）10余人；團隊包括微系統設計與集成、固態高壓微系統、量子與光電微系統、太赫茲通信和雷達、太赫茲模塊、太赫茲物理和微納工藝研究等方向。中心擁有近7000㎡的潔凈實驗室，具備6英寸硅基和化合物芯片制造、先進電子封裝和三維異構集成能力的綜合工藝研究平臺。